測定画面の例

①2Dプロットウインドウ
②3Dプロットウィンドウ
③1Dプロットグラフ1
④1Dプロットグラフ2
⑤2Dプロット拡大、縮小ボタン
⑥特性比較画面へ移動
⑦M2測定画面へ移動
⑧ゼロ点補正
⑨ライブ測定開始
⑩保存済みデータを開く
⑪測定データ保存
⑫プログラム終了
⑬条件設定を確認、変更します。
⑭ライブデータを保存用に測定します。
⑮ビームスタビリティを測定します。(下図)
⑯プログレスバー
⑰露光時間
⑱ビームパラメータの解析結果
⑲言語(日本語、英語)を切り替えます。
⑳別ウィンドウでライブ2Dプロットを拡大します。
㉑設定した光強度でのビーム形状(断面)を表示します。
㉒断面カットの光強度を可変するスライダ

②ビームスタビリティウインドウ(2D位置変化)
④ビームスタビリティウインドウ(時間変化)
⑱ビームスタビリティ解析結果

出力、保存できるデータと保存形式