7月

7月2日（水）
　分子科学研究所（愛知県岡崎市）で行われた、平等拓範先生主催のマイクロ固体フォトニクス専門委員会／第5回「小型集積レーザー」専門委員会に出席して参りました。お昼に分子研に到着し、東岡崎駅へランチに行きました。東岡崎に来るのは1年ぶり、いやもっとでしょうか、駅ビルが大きく変わったという噂を聞いていましたが。

分子研側（南口）にはSWING MALLという3階建てのショッピングモールが出来ていました。ニュースで見たことがありますが、想像していたより、こぢんまりしています。そしてメインの北口の駅ビル（岡ビル百貨店）ですが、もう跡形もありませんでした。2030年に完成ですか。20年以上前に訪れたときから、建物は老朽化していて（1958年開業って、私がまだ生まれる前じゃん！）まったく時代遅れの駅ビルでしたが、百貨店だけに、たくさん小さなテナントが入っており、お世話になりました。特に2階にあった居酒屋、味処長誉（ちょうよ）さんでは週一くらいで、日替わりランチいただきました。この長誉というのは、岡崎にある丸石醸造の日本酒のブランド名になります。20年前当時は老夫婦が切り盛りしていて、まったく家庭的なサバ塩焼き定食や人気の唐揚げ定食を、安価に提供していただきました。また店内の棚には無数の漫画が置いてあり、定食が出来るまでゴルゴ13なんか読んだりしていました。他にも喫茶店や中華料理店などありましたが、一通りは入ったと思います。3階にはカレーうどんのお店がありました。

いろいろ駅の周りを歩き回りましたが、結局ランチはSWING MALL3階の串カツ田中で、串カツ定食（税抜850円）いただきました。串カツ田中は初めてでしたが、揚げたての串カツはサクサクでとても美味しいです。特に正面に見える激辛ソース、子供さんには危険と書いてありますが、これは辛いけど旨い、癖になります。結局通常のソースの上からドバドバかけました。ご飯（大盛り無料、写真は普通盛り）は残念ながら炊き方なのか、時間が経ったからなのか、パッサパサで、これならサトウのごはんの方が全然旨いです。とろろ入りの汁も、なんか味があるのかないのか、まあ博多天ぷら「たかお」に比べれば半額だし、大阪のジャンクフードのお店ですから、こんなものでしょう。

　分子研での研究会ですが、かつてギガフォトンで半導体製造用の国産露光用EUV光源の開発、製品化を第一線で進めていた溝口計さんよる最新の露光用EUV光源、露光方式の技術動向について講演がありました。既に20年ほど前にギガフォトンは露光用光源の開発、製品化を断念し、溝口さん自身は定年後、現在は九州大学に移りEUV露光の周辺技術開発のための（低出力）EUV光源開発を進めているとのこと。世界のEUV露光装置（波長13.5nm）は光源含めオランダのASMLに独壇場となっているが、周辺技術においては、まだまだ日本企業のシェアは高く、特に露光用のレジスト材料に関しては、日本企業が独占している。そのため、国内で周辺技術開発のための光源開発は重要なテーマであるということです。20年前当時、様々な学会で溝口さんの国プロのEUV光源開発進捗の講演を聴いていましたが、真空中で落下するSnのドロップレットに、高出力レーザ光を正確に当ててEUVを出すという、まるでレーザー核融合のミニチュアような光源を産業用に開発していく過程を見るに付け、非現実的なもののように思えたものが現実になるという過程、技術力の高さにとても感心したものでした。

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